詳細說明
●特征
●高速度
●無頓力
●高精度
●組裝容易
●光學(xué)檢測應(yīng)用
●高鋼性的鋁結(jié)構(gòu)
●無鐵心式直線電機
●微米技術(shù)及晶圓處理
●在微米工程等級的應(yīng)用以及晶圓設(shè)備中尤其重視絕對精度及
●潔凈室適用性。采用線性馬達高精度XY平臺為最佳選擇。
●潔凈室等級100適用 。
可非標(biāo)定制，協(xié)助選型號+圖紙+報價，聯(lián)絡(luò)方式：18825529049 吳工（微信同號）
吳女士 18825529049
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